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產(chǎn)品中心

美國TEM氣體過(guò)濾器TEM-250-24用半導體制造

  • 時(shí)   間:2024-05-07
  • 型   號:TEM-260-DN50
  • 價(jià)   格:

美國TEM氣體過(guò)濾器TEM-250-24用半導體制造
TEM-250-24過(guò)濾器應用
?一般和工藝惰性設施氣體。
?關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣(CDA*),包括前開(kāi)口統一吊艙(FOUP)清潔和光刻。

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美國TEM氣體過(guò)濾器TEM-250-24用半導體制造



TEM-228-16 1.0“內螺紋NPT入口/出口640.1 mm(25.2")

TEM-250-24 1.5“短管入口/出口637.5 mm(25.1")

TEM-250-32 2.0“短管入口/出口637.5 mm(25.1")

TEM-260-DN50法蘭(詳見(jiàn)圖紙)643.1 mm(25.32")

TEM-250-24過(guò)濾器應用

•一般和工藝惰性設施氣體。

•關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣(CDA*),包括前開(kāi)口統一吊艙(FOUP)清潔和光刻。

TEM-250-24過(guò)濾器功能和優(yōu)點(diǎn)

•電拋光外殼

過(guò)濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和粒子在內表面上積聚。

•包裝外清潔度

我們的GasPro™ 清潔TEM-200過(guò)濾器,并包裝在無(wú)塵室內,不含有機物包裝外、無(wú)顆粒和無(wú)化學(xué)品清潔度。最終組裝已清除使用過(guò)濾氮氣進(jìn)行初始清潔。附加的預處理是可選的。

•多種配件選項,便于安裝標準配件選項包括端面/墊片密封,壓縮、對焊和NPT。特殊配件,包括三夾鉗(三葉草)衛生和法蘭類(lèi)型,可根據要求提供。

•氦泄漏測試

所有裝置均以1x10-9 atm cc/s的速度進(jìn)行測試。

。該放就放了吧,該棄就棄了吧,該舍就舍了吧,該忘就忘了吧!當我們無(wú)法改變事實(shí)時(shí),我們可以改變自己的想法,改變面對生活的態(tài)度,從而改變結局。當我們能接受已經(jīng)發(fā)生的,改變能改變的,煩惱自然就會(huì )越來(lái)越少。"

HYLIK海歷克張濤張經(jīng)理今天給大家講講關(guān)于TEM過(guò)濾器TEM-250-32技術(shù)參數以及產(chǎn)品規格,目前沒(méi)有現貨額,訂貨周期10-12周左右,現在隨著(zhù)美元匯率增長(cháng)價(jià)格會(huì )有所增長(cháng)額,常用于半導體制造,太陽(yáng)能制造行業(yè),微電子行業(yè)廣泛使用中。美國TEM氣體過(guò)濾器TEM-250-24用半導體制造

GasPro™ TEM-200系列濾波器設計用于3 nm顆粒截留率高達200 scfm,且溫度高達80?C(176F)。ePTFE膜(1.36 m2/14.6平方英尺)使用聚丙烯支撐結構封閉在316L不銹鋼外殼,具有出色的流動(dòng)性和耐化學(xué)性。使用標準Vitono形圈(其他o形圈材料可在重新測試時(shí)獲得)。

美國TEM-311-24過(guò)濾器參數:

我們的多孔ePTFE過(guò)濾器提供有效的顆粒滯留3 nm。

最高工作溫度* 80°C(176°F)。 建議更換:在69C(156F)以上工作6個(gè)月。

最大工作壓力17.2 bar (250 psig) @ 20°C(68°F)。

最大正向差壓20C(68F): 6.0 bar (87 psi) 80?C(176F): 4.0 bar (58 psi)

一般和工藝惰性設施氣體,用于半導體,脂肪板顯示和其他高純度應用。 G酶用于關(guān)鍵的脂肪板工藝,包括襯底退火。 對于關(guān)鍵工藝,包括前開(kāi)口統一吊艙(FOUP)清洗和光刻,采用稀薄干燥的空氣。

TEM-200零件號和訂購信息

零件號入口/出口配件過(guò)濾介質(zhì)/外殼其他材料長(cháng)度(L)

TEM-215-16 1.0“陽(yáng)墊圈密封入口/出口

PTFE/316L不銹鋼聚丙烯

氟橡膠®密封*658.4毫米(25.92英寸)



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